技術(shù)編號(hào)：5539839
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種閘閥，其安裝在半導(dǎo)體處理裝置中的真空腔上，在與該真空腔連通的開(kāi)口的開(kāi)閉中使用，更詳細(xì)地說(shuō)涉及能夠無(wú)滑動(dòng)地開(kāi)閉所述開(kāi)口的無(wú)滑動(dòng)式閘閥。背景技術(shù)在半導(dǎo)體處理裝置中，在與真空腔連通的開(kāi)口的開(kāi)閉中使用閘閥。該閘閥一般具有開(kāi)閉開(kāi)口的閥板、與該閥板連結(jié)的閥軸、和與該閥軸連結(jié)的氣缸，由該氣缸操作所述閥軸，由此，使所述閥板的閥密封件相對(duì)于所述開(kāi)口周?chē)拈y座面接近分離地開(kāi)閉該開(kāi)口。所述閘閥有如下方式通過(guò)以一點(diǎn)為支點(diǎn)使所述閥軸傾動(dòng)來(lái)開(kāi)閉操作閥板的方式；通過(guò)使所述...
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