技術(shù)編號：5537678
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及用于例如控制氣體流量的質(zhì)量流量控制器等的流體控制閥。背景技術(shù)所謂流體控制閥是指，通過安裝在上游流路和下游流路之間，控制在所述流路中流動的流體的流量，或者打開或關(guān)閉。例如，作為對用于半導體處理的氣體的流量進行控制的流體控制閥，公知的有專利文獻I所示結(jié)構(gòu)的流體控制閥。例如如專利文獻I的圖7所示，常閉型的流體控制閥包括閥體，配置在形成在主體上的閥室內(nèi)，并且設置為能與設置在所述閥室內(nèi)的閥座接觸或分離；驅(qū)動部件，對所述閥體施加朝向開閥方向的作用力；以及閥體...
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