技術編號：5533039
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及ー種六自由度低頻微振動隔離機械裝置，屬于機械設備振動控制。背景技術隨著現(xiàn)代科學技術的不斷發(fā)展，エ業(yè)和制造業(yè)對精密測量、精密加工等技術的需求越來越旺盛。研究發(fā)現(xiàn)，對高精密測量、加工設備產(chǎn)生危害的振動主要是頻率在0. 5 70Hz范圍內(nèi)的微振動，這要求上述精密設備具備隔離低頻微振動的能力。主動隔振裝置對于解決低頻微振動十分有效，但其存在著結(jié)構(gòu)復雜、制造成本高、需要性能優(yōu)異的傳感器和作動器等缺點。而傳統(tǒng)的線性被動隔振裝置要實現(xiàn)低頻、超低頻隔振，則必須降...
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