技術(shù)編號(hào)：5516708
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及的壓電/電流變混合超精密液壓步進(jìn)驅(qū)動(dòng)裝置，屬于 精密電子機(jī)械領(lǐng)域。背景技術(shù)隨著現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)和工業(yè)技術(shù)的發(fā)展，特別是微/納米技術(shù)發(fā)展， 在硅微電子加工領(lǐng)域、在微機(jī)器人操作領(lǐng)域，在超精密切削領(lǐng)域、在光 纖、光學(xué)調(diào)整及生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域，人們?cè)絹?lái)越要求具有超精密驅(qū)動(dòng)的高 科技技術(shù)，來(lái)實(shí)現(xiàn)超精密的定位、位移和運(yùn)動(dòng)。傳統(tǒng)的步進(jìn)電機(jī)已經(jīng)不 能滿足更高精度的使用要求。近年來(lái)，壓電型精密驅(qū)動(dòng)器以其優(yōu)良的性 能逐漸引起人們的關(guān)注，壓電型精密驅(qū)動(dòng)器雖說(shuō)有一定的輸出精...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。