技術(shù)編號：5490234
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種用于消散干式壓縮真空泵裝置中的自燃灰塵的方 法以及一種相應(yīng)的真空泵。背景技術(shù)在冶金和各種其它在真空中進(jìn)行的工藝中，經(jīng)常出現(xiàn)顆?；蛘呶⑿?灰塵，該顆?；蛘呶⑿』覊m基于其化學(xué)成分以及其較大表面如此反應(yīng)， 即顆?；蛘呶⑿』覊m在與外界空氣接觸時自燃，其中顆?；蛘呶⑿』覊m 與大氣氧氣反應(yīng)。這種工藝?yán)缡怯糜谥圃靻尉Ч璧那锌藙谒够?Czochalsky-Verfahren )或者鋼的熔解和干餾。在第一種情況下產(chǎn)生氧 化硅(SiO)并且在第二種情況下產(chǎn)生...
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