技術(shù)編號：5488709
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型屬于微電子流體機械領(lǐng)域，涉及到壓電泵泵腔體積 變化方式以及泵閥的主動控制和被動控制兩種控制方式。 背景技術(shù)壓電泵的研究始于二十世紀八十年代末。1978年美國Sandia國 家實驗室的W.J.Spenser發(fā)表了《電控壓電胰島素泵和閥》；1980年， Standora大學(xué)的Smits又提出了壓電液體蠕動泵；三年后，荷蘭Twente 大學(xué)利用硅微加工及薄膜技術(shù)研制了多個壓電驅(qū)動微型泵。隨著壓電 驅(qū)動器的不斷發(fā)展，從壓電材料薄膜到圓片形壓電驅(qū)動器再到壓...
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