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真空泵的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:5471849

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在滾珠軸承8與底座2的支撐部2a之間插裝有振動抑制機構(gòu)50。振動抑制機構(gòu)50包括層疊著的多個滑動構(gòu)件51、滑動構(gòu)件52及彈性體53。在所述振動抑制機構(gòu)50中,將滑動構(gòu)件51、滑動構(gòu)件52設(shè)為多個,并且將滑動面設(shè)為多個,因此可增大振動抑制效果。專利說明真空泵 [0001]本發(fā)明涉及一種將永磁體及滾珠軸承(ball bearing)用于軸承的真空泵。 背景技術(shù) [0002]作為潤輪分子泵(turbomolecular pump)等真空泵中的轉(zhuǎn)子(ro...
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