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磁性軸承裝置及真空泵的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):5466513

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本發(fā)明關(guān)于一種磁性軸承裝置及真空泵,可以獲得基本上無(wú)尖峰噪聲影響的磁懸浮信息。磁性軸承裝置包括多個(gè)激磁放大器,將重疊有傳感器載波信號(hào)的電磁鐵電流供給至各磁軸承電磁鐵;及控制部,對(duì)來(lái)自多個(gè)電流傳感器的電流檢測(cè)信號(hào)、及將與一對(duì)磁軸承電磁鐵相關(guān)的一對(duì)電流檢測(cè)信號(hào)相加所得的和信號(hào)進(jìn)行模擬數(shù)字采樣,而取得磁懸浮信息,基于磁懸浮信息而對(duì)激磁放大器進(jìn)行脈寬調(diào)制控制;且以使脈寬調(diào)制載波信號(hào)的接通占空比區(qū)間(Ton)的長(zhǎng)度一直比規(guī)定時(shí)間范圍(Td)更長(zhǎng)的方式進(jìn)行脈寬調(diào)制控制...
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