技術(shù)編號(hào)：5465002
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明實(shí)施例提供了一種冷泵再生的控制方法，所述冷泵與系統(tǒng)干泵相連，所述方法，包括以下步驟接收等待再生的冷泵提交的再生執(zhí)行請(qǐng)求，依據(jù)所述請(qǐng)求申請(qǐng)所述系統(tǒng)干泵的使用權(quán)；當(dāng)獲得所述系統(tǒng)干泵的使用權(quán)時(shí)，關(guān)閉與所述系統(tǒng)干泵關(guān)聯(lián)的所有抽氣閥；關(guān)閉所述等待再生的冷泵及其對(duì)應(yīng)腔室的門閥；發(fā)送再生啟動(dòng)指令至所述等待再生的冷泵；所述等待再生的冷泵用于依據(jù)所述再生指令執(zhí)行再生；當(dāng)所述等待再生的冷泵完成再生后，釋放所述系統(tǒng)干泵的使用權(quán)。本發(fā)明通過(guò)設(shè)定系統(tǒng)干泵為共享資源來(lái)進(jìn)行管理、...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。