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一種連續(xù)流微泵的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):5459478

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本發(fā)明涉及一種用于流體傳輸?shù)谋?,尤其是一種利用合成雙射流激勵(lì)機(jī)構(gòu) 驅(qū)動(dòng)的連續(xù)流微泵。技術(shù)背景自從美國(guó)斯坦福大學(xué)的Smits和Wallmark兩位教授于1980年首次研制成 功一種壓電驅(qū)動(dòng)的蠕動(dòng)式微機(jī)械泵以來(lái),微泵就一直是MEMS (微機(jī)電系統(tǒng)) 研究的熱點(diǎn)。目前,微泵已在航空航天器、機(jī)器人、汽車、醫(yī)療器械、生物基 因工程、微型機(jī)械等領(lǐng)域里得到成功應(yīng)用。微泵的廣泛應(yīng)用、其巨大的研究?jī)r(jià) 值,使之在當(dāng)前的微執(zhí)行器研究中占有重要地位,它的發(fā)展水平已被認(rèn)為是 MEM...
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