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用于對(duì)真空系統(tǒng)進(jìn)行差動(dòng)泵浦的真空分隔器的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):5459148

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本發(fā)明涉及真空系統(tǒng)領(lǐng)域,具體而體,涉及真空系統(tǒng)的差動(dòng)泵浦(differential pumping )。背景技術(shù)常規(guī)渦輪分子泵(例如,由United Kingdom, West Sussex, Crawley的 BOC Edwards公司("Edwards")以及USA, NH的Pfeiffer Vacuum公司 ("Pfeiffer")制造的渦輪分子泵)具有單一的高真空入口,該入口位于 轉(zhuǎn)子疊片頂部,設(shè)計(jì)為用于抽空單一真空區(qū)域。一些渦輪分子泵還具有級(jí)間端...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。

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