技術(shù)編號(hào)：5451573
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及集成電路制造設(shè)備真空環(huán)境獲得領(lǐng)域，具體地說(shuō)是一種多級(jí)干式真空泵人機(jī)操作裝置。背景技術(shù)近幾年，隨著國(guó)內(nèi)集成電路(IC)行業(yè)的蓬勃發(fā)展，IC制造設(shè)備真空環(huán)境獲得裝置作為該行業(yè)不可或缺的設(shè)備也在日新月異的改進(jìn)，干式真空泵因其潔凈無(wú)油等優(yōu)勢(shì)在本領(lǐng)域得到很好的應(yīng)用，由于IC行業(yè)對(duì)真空環(huán)境的要求十分苛刻，不同的工藝要求有不同的真空度、抽速曲線以及不同的氮?dú)馇逑戳髁康雀鞣N參數(shù)，這就需要根據(jù)不同的生產(chǎn)工藝和應(yīng)用場(chǎng)合適當(dāng)調(diào)整泵的控制參數(shù)以適應(yīng)現(xiàn)場(chǎng)需求，這樣傳統(tǒng)的真...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。