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流體排出方法及流體排出裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:5447374

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本發(fā)明涉及信息·精密機(jī)器、工作機(jī)械、FA等中或半導(dǎo)體、液晶、顯示器、表面安裝等各種生產(chǎn)工序中所必需的流體排出方法及流體排出裝置。背景技術(shù) 一直以來,雖然液體排出裝置(dispenser)被應(yīng)用于各種領(lǐng)域中,但是伴隨著近年來的電子部件的小型化·高記錄密度化的需要,要求提供一種對微量的流體材料以高精度并且穩(wěn)定地進(jìn)行供給控制的技術(shù)。例如,在等離子顯示器、CRT、有機(jī)EL等顯示領(lǐng)域中,迫切期望不使用以往的絲網(wǎng)印刷、光刻法等工藝,而是將熒光體·電極材料無掩模地直接地...
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