技術(shù)編號(hào)：5446371
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。背景技術(shù)本發(fā)明一般涉及超高真空系統(tǒng)，更具體涉及在超高真空系統(tǒng)中使用的現(xiàn)場(chǎng)吸氣泵。 背景技術(shù) 有許多需要例如10-7至10-12乇(Torr)超高真空能級(jí)的工藝。例如，高真空物理裝置、象回旋加速器和直線加速器常常需要10-8-10-12乇量級(jí)的真空。還有，在半導(dǎo)體制造工業(yè)，半導(dǎo)體處理設(shè)備中常常需要大約10-7-10-9乇的超高真空。一般以串聯(lián)或并聯(lián)方式采用幾個(gè)泵以便在室內(nèi)獲得超高真空能級(jí)。機(jī)械(例如油)泵常用于減小室內(nèi)壓力至接近30-50毫乇。這些常被稱作“...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。