技術(shù)編號：5446221
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種多級真空泵，更具體地說，涉及具有若干羅茨真空泵單元的多級真空泵，所述羅茨真空泵單元的布置使其葉輪的轉(zhuǎn)速可以單獨進行調(diào)整。在許多系統(tǒng)中都要求一個真空環(huán)境，例如在CVD系統(tǒng)，干蝕系統(tǒng)，噴涂系統(tǒng)等，其用于例如半導(dǎo)體的生產(chǎn)工藝中。使用真空泵以產(chǎn)生一真空環(huán)境。通常已知用油密封的旋轉(zhuǎn)真空泵作為能以泵入口處于大氣壓力進行起動操作的真空泵。然而，因為這種泵在泵室中使用油，所以泵所形成的真空環(huán)境可能被油所污染。所以，油密封的旋轉(zhuǎn)真空泵不適用于上述的系統(tǒng)中。為滿...
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