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微型電磁泵的制作方法技術資料下載

技術編號:5443380

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本實用新型涉及微流量控制器件,特別是涉及一種微型電磁泵。背景技術微型電磁泵(Magnetohydrodynamic micropump,簡稱MHD micropump)是一種新型的非機械式微型泵,它利用洛侖茲力推動電解質(zhì)溶液產(chǎn)生連續(xù)流動,可以改變流向,產(chǎn)生可控的流量。由于工作介質(zhì)為電解質(zhì)溶液,與化學溶液相容,可用于生化藥品的輸送和流量注射。目前,微型電磁泵引起了越來越多國外MEMS學者的重視。南韓的Jaesung Jang,Seung S.Lee設計了一種...
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