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分子泵鈑金定片的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):5439741

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本實(shí)用新型涉及一種分子泵的定片,尤其涉及一種分子泵鈑金定片。背景技術(shù)渦輪分子泵通過(guò)動(dòng)片一定片組來(lái)實(shí)現(xiàn)抽氣的功能?,F(xiàn)有技術(shù)中,分子泵的定片采用鋁合金材料,先通過(guò)車(chē)床車(chē)成圓板狀毛坯,再通過(guò)分度頭控制角度,調(diào)整銑床的角度,使用特殊銑刀工裝,通過(guò)銑床銑制葉片。因?yàn)榉肿颖枚ㄆ拷M數(shù)量多且薄,整套工藝中為避免鋁合金材料應(yīng)力釋放造成葉片變形,需經(jīng)多道熱處理去應(yīng)力,使用特制的夾爪,以及多道車(chē)銑工序來(lái)保證葉片的應(yīng)力變形在允許的范圍內(nèi)。之后銑好的定片還需經(jīng)去毛刺,陽(yáng)極氧化,標(biāo)...
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