技術(shù)編號(hào)：5439366
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及一種真空泵，特別是一種自動(dòng)減壓?jiǎn)?dòng)的真空泵。背景技術(shù)在生產(chǎn)太陽(yáng)能硅片的過(guò)程中，常使用滑閥真空泵設(shè)備。通常，真空泵在啟動(dòng)時(shí)，也 在抽真空，使得真空泵的啟動(dòng)負(fù)荷增大，不僅影響工作效率，而且還降低了真空泵的使用 壽命。為克服由于啟動(dòng)時(shí)真空泵內(nèi)氣壓的增大，目前多采用在真空泵體的腔壁上開設(shè)充氣 閥的方式對(duì)泵腔進(jìn)行減壓，在真空泵電機(jī)啟動(dòng)時(shí)充氣閥打開，在真空泵電機(jī)正常運(yùn)轉(zhuǎn)后，充 氣閥閉合，真空泵開始抽真空進(jìn)行正常工作?，F(xiàn)有的充氣閥是手動(dòng)控制，無(wú)法精確計(jì)算充...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。