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基于碟型傳感器閥的壓電泵的制作方法技術資料下載

技術編號:5438485

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本發(fā)明屬于微流體傳輸控制領域應用的壓電泵,具體涉及ー種基于碟型傳感器閥的壓電泵。背景技術壓電泵具有結構簡單、體積小、反應迅速、無電磁干擾、易于操作、流量及壓カ可控性好等諸多優(yōu)勢,在醫(yī)療、化學分析、汽車發(fā)動機及燃料電池的燃料供給、微機電液系統(tǒng)等方面都有廣泛的應用前景,因此其研制開發(fā)備受世界各國學者的廣泛關注。為滿足不同領域的應用需求,人們提出了多種形式結構的壓電泵。雖然所提出的壓電泵結構形式和性能差異較大,但都是利用壓電振子在電場作用下產生的彎曲或伸縮變形實...
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