技術(shù)編號(hào)：5438064
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種磁性懸浮裝置及磁性懸浮式真空泵。背景技術(shù)在利用重疊式的無傳感器的磁性懸浮裝置使轉(zhuǎn)子磁性懸浮的渦輪分子泵中，將頻率高于成為磁性懸浮控制對(duì)象的頻帶的載波和磁性懸浮用電磁鐵的驅(qū)動(dòng)電流重疊，根據(jù)該載波的電壓值或電流值等來測(cè)定電磁鐵與轉(zhuǎn)子的距離(例如，參照專利文獻(xiàn)I)。背景技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)1日本專利特開平6-313426號(hào)公報(bào)然而，如果為了改善相對(duì)于載波的線圈特性(例如，電感所致的損耗、相對(duì)于電感的分布電容)并且使載波電流增大而減少線圈匝數(shù)，那...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。