技術(shù)編號(hào)：5436345
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及ー種。背景技術(shù)低溫泵為通過冷凝或吸附在被冷卻成超低溫的低溫板上捕捉氣體分子來進(jìn)行排氣的真空泵。低溫泵一般用作實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體電路制造エ藝等中要求的清潔的真空環(huán)境。低溫泵的應(yīng)用中的I個(gè)例如如離子注入エ序中，例如氫等非冷凝性氣體有時(shí)占應(yīng)排出氣體的一大半。非冷凝性氣體最初能夠通過吸附在冷卻成超低溫的吸附區(qū)域來進(jìn)行排氣。 專利文獻(xiàn)I 日本特開平1-92591號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2 日本特開昭60-13992號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)3 日本特表2008-514849號(hào)公報(bào)專利文...
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