技術(shù)編號(hào)：5425518
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種適用準(zhǔn)分子激光器的氣體驅(qū)動(dòng)，尤其是指適用于氣體激光器的貫流風(fēng)機(jī)葉輪。背景技術(shù)氣體放電激光器尤其是準(zhǔn)分子激光器是最佳的光刻用激光光源，通常情況下典型的準(zhǔn)分子激光器主要有激光腔、高壓脈沖源兩部分組成。請(qǐng)參閱圖I所示，激光腔的腔體3內(nèi)主要有放電電極2、氣體循環(huán)系統(tǒng)I、散熱系統(tǒng)4組成。而氣體循環(huán)系統(tǒng)I中的葉輪是放電腔氣體循環(huán)的動(dòng)力。激光器在每次放電之后都會(huì)產(chǎn)生廢氣(電離氣體)及放電塵埃，通過氣體循環(huán)系統(tǒng)可以將廢氣及塵埃帶走，否則會(huì)影響到下一次的放電效...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。