技術(shù)編號：5422936
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及真空泵，且具體地涉及真空泵中的軸密封裝置的改進(jìn)。背景技術(shù)真空泵廣泛地用于エ業(yè)過程以給產(chǎn)品制造提供清潔和/或低壓カ的環(huán)境，所述產(chǎn)品包括半導(dǎo)體裝置、平板顯示器和太陽能面板。在諸如化學(xué)汽相沉積或蝕刻的過程期間，過程氣體供應(yīng)給處理室。任何未消耗的過程氣體隨后使用真空泵從處理室泵送。這些氣體可能是腐蝕性或以其他方式有害于泵的部件，從而引起腐蝕、増加的磨損或有限的工作壽命。真空泵的殼體提供定子，在泵的使用期間，驅(qū)動軸和轉(zhuǎn)子在定子內(nèi)旋轉(zhuǎn)。定子包括泵送室，具有氣...
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