技術(shù)編號(hào):53715
提示:您尚未登錄,請點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。專利摘要本實(shí)用新型公開了一種可在線更換籽晶的泡生法藍(lán)寶石晶體生長爐,具有主爐腔和副爐腔,所述爐蓋與副爐腔通過電動(dòng)擋板閥隔開,電動(dòng)擋板閥由爐臺(tái)控制系統(tǒng)控制開關(guān),在副爐腔左面設(shè)有冷卻閥,右面設(shè)有開啟副爐腔的爐門;所述籽晶桿安裝在提拉系統(tǒng)上,并向下延伸依次穿過管體、副爐腔和爐蓋,最終到達(dá)主爐腔的內(nèi)部。使用時(shí)首先緩慢打開電動(dòng)擋板閥,將籽晶桿提升至副爐腔,而后關(guān)閉電動(dòng)擋板閥,對副爐腔內(nèi)進(jìn)行冷卻,再對籽晶進(jìn)行更換,最后抽真空、緩慢下降籽晶桿、預(yù)熱籽晶,重新引晶。本實(shí)用新型能夠?qū)崿F(xiàn)在線更換籽晶,具有能耗低、生產(chǎn)成本低的優(yōu)點(diǎn),與此...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。