技術(shù)編號:5288804
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及用于使用電鑄法(電鍍,galvanoplasty)制造微機械部件的模具,以 及制造所述模具的方法。背景技術(shù)電鑄法已被長期使用并為大家公知。LIGA類型的方法(已知的德語術(shù)語 "rontgenLIthographie, Galvanoformung&Abformung,,的縮寫)是最新的方法。所述方法 包括通過使用光敏樹脂利用光刻法形成模具,然后利用電鑄法在其中生長金屬沉積物例如 鎳。LIGA技術(shù)的精度遠好于例如通過機械加工獲得的常規(guī)模具的...
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