技術(shù)編號：5282903
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。，屬于微制造。采用UV-LIGA技術(shù)在高純鎳板基底J上，經(jīng)兩次勻膠、分層曝光以及一次顯影等光刻工藝過程得到SU-8膠膠膜，再經(jīng)微電鑄鎳N、微電鑄后處理來實(shí)現(xiàn)金屬微光柵的制作；通過線寬補(bǔ)償?shù)姆椒ń鉀Q溶脹引起的線寬變小問題；在去膠工序中，采用了“超聲-浸泡-超聲-浸泡”循環(huán)往復(fù)的方法去膠；在退火工序中使用真空退火去除殘余應(yīng)力，提高了基底與金屬光柵之間的結(jié)合力。本發(fā)明的效果和益處是采用此方法在金屬基底J上制備金屬微光柵具有深寬比、尺寸精度和機(jī)械強(qiáng)度高的特點(diǎn)，制備...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。