技術(shù)編號(hào):5272034
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種三維微結(jié)構(gòu)制備成型方法及系統(tǒng),用于點(diǎn)、柱、線、面、體等微結(jié)構(gòu)的快速制備。背景技術(shù) 近年來(lái),科學(xué)技術(shù)的一個(gè)重要趨勢(shì)是朝小尺寸、大容量、高速度和低能耗方向快速發(fā)展,人類(lèi)對(duì)微觀世界的探索已逐漸由微米技術(shù)向納米技術(shù)延伸,由此推動(dòng)了國(guó)民經(jīng)濟(jì)和人類(lèi)社會(huì)的進(jìn)步。微納米技術(shù)是新世紀(jì)各主要國(guó)家優(yōu)先規(guī)劃發(fā)展的核心科技,隨著微納米技術(shù)的飛速發(fā)展,對(duì)微納米加工制備技術(shù)也提出了更高要求。其中,三維微結(jié)構(gòu)的加工制備是一個(gè)很重要方面,它在微電子學(xué)、微光學(xué)、微機(jī)械學(xué)、微流體...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。