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一種三維微結(jié)構(gòu)制備成型方法及系統(tǒng)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):5272034

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本發(fā)明涉及一種三維微結(jié)構(gòu)制備成型方法及系統(tǒng),用于點(diǎn)、柱、線、面、體等微結(jié)構(gòu)的快速制備。背景技術(shù) 近年來(lái),科學(xué)技術(shù)的一個(gè)重要趨勢(shì)是朝小尺寸、大容量、高速度和低能耗方向快速發(fā)展,人類(lèi)對(duì)微觀世界的探索已逐漸由微米技術(shù)向納米技術(shù)延伸,由此推動(dòng)了國(guó)民經(jīng)濟(jì)和人類(lèi)社會(huì)的進(jìn)步。微納米技術(shù)是新世紀(jì)各主要國(guó)家優(yōu)先規(guī)劃發(fā)展的核心科技,隨著微納米技術(shù)的飛速發(fā)展,對(duì)微納米加工制備技術(shù)也提出了更高要求。其中,三維微結(jié)構(gòu)的加工制備是一個(gè)很重要方面,它在微電子學(xué)、微光學(xué)、微機(jī)械學(xué)、微流體...
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