技術(shù)編號(hào):5271975
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種電磁激勵(lì)高階模態(tài)諧振式微機(jī)械懸臂梁的驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)、制作方法及應(yīng)用,具體而言,是采用與懸臂梁高階諧振模態(tài)的振動(dòng)函數(shù)曲線相匹配的優(yōu)化布置電磁激勵(lì)線圈,產(chǎn)生與該模態(tài)懸臂梁相應(yīng)位置運(yùn)動(dòng)方向相同的洛倫茲力驅(qū)動(dòng)懸臂梁振動(dòng)。本發(fā)明屬于微機(jī)械傳感器。背景技術(shù) 諧振式微機(jī)械懸臂梁傳感器由于具有高分辨率、高靈敏度、快速響應(yīng)和數(shù)字式輸出信號(hào)等特點(diǎn),而被廣泛應(yīng)用于生化檢測(cè)、壓力敏感、慣性測(cè)量等傳感,其中作為質(zhì)量敏感傳感器在環(huán)境監(jiān)測(cè)、醫(yī)療診斷等方面具有廣闊的應(yīng)用前景。該傳...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專(zhuān)利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專(zhuān)利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專(zhuān)利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。