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用于光開關(guān)的陣列準(zhǔn)直耦合組件的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):5271898

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本實(shí)用新型屬于微光機(jī)電器件,涉及一種微機(jī)械光開關(guān)。背景技術(shù)微機(jī)電(MEMS)技術(shù)已經(jīng)在很多領(lǐng)域得到很廣泛的應(yīng)用。在光通信領(lǐng)域,采用MEMS技術(shù)將自由空間的光學(xué)系統(tǒng)微型化成微米級(jí)的微光學(xué)系統(tǒng)(MOEMS),可以提高器件間的耦合效率、降低器件的功耗,制作出真正意義上的集成化光學(xué)系統(tǒng)。與傳統(tǒng)的波導(dǎo)調(diào)制型光開關(guān)相比,MOEMS光開關(guān)具有耦合損耗小、串音干擾低、與工作的波長和偏振態(tài)無關(guān),以及不受通訊中所采用的數(shù)據(jù)格式的限制等優(yōu)點(diǎn)。對(duì)于MOEMS光開關(guān)陣列,光束準(zhǔn)直及...
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