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漣漪結(jié)構(gòu)薄膜與具有該結(jié)構(gòu)的模具制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):5271893

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本發(fā)明涉及一種漣漪結(jié)構(gòu)以及模具的制造方法,特別是涉及一種利用彈性薄膜的應(yīng)變而形成的一種微/納米等級(jí)的漣漪結(jié)構(gòu),進(jìn)而利用具有該漣漪結(jié)構(gòu)的彈性薄膜來(lái)制作模具的一種。背景技術(shù) 微/納米等級(jí)的結(jié)構(gòu),在光學(xué)以及生物醫(yī)學(xué)的應(yīng)用領(lǐng)域相當(dāng)廣泛,例如液晶顯示器的背光模塊、光柵式生物醫(yī)學(xué)檢測(cè)芯片等。一般說(shuō)來(lái),微/納米等級(jí)的結(jié)構(gòu)都是采用超精密加工、能量束(激光、電子束)微影配合干刻蝕然后形成微/納米等級(jí)的結(jié)構(gòu),最后再利用電鑄翻模以形成具有微/納米結(jié)構(gòu)的模具。然而,面對(duì)復(fù)雜形狀的...
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