技術編號：5271758
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種微機電系統(tǒng)(MEMS)傳感器與制動器，尤其是涉及可應用于微器件可動結構制備的一種基于娃/玻璃陽極鍵合的微器件可動結構制備方法。背景技術微機電系統(tǒng)(MEMS)傳感器與制動器已廣泛應用于航天、汽車、通訊以及醫(yī)療等領域，其中，可動結構是MEMS傳感器與制動器的核心，因此可動結構的制備工藝成為MEMS制造中的關鍵。傳統(tǒng)的可動結構制備工藝可以分為兩類一種為基于晶圓鍵合；另一種為基于犧牲層。基于晶圓鍵合的可動結構制備工藝是MEMS傳感器中最常用的可動結構...
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