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減少靜摩擦和鈍化微電機(jī)表面的晶片水平處理方法及其所用化合物的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):5271601

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相關(guān)申請(qǐng)的交叉參考本申請(qǐng)要求于2000年2月1日遞交的第60/178,958號(hào)美國(guó)臨時(shí)專(zhuān)利申請(qǐng)的優(yōu)先權(quán),該申請(qǐng)的內(nèi)容在此并入作為參考。氣囊傳感器有一個(gè)隨快速減速過(guò)程中出現(xiàn)的慣性改變而移動(dòng)的子元件。在其直接環(huán)境中,這個(gè)微元件和其它元件的粘著會(huì)導(dǎo)致減速過(guò)程中該子元件移動(dòng)的失效。這種粘著被稱(chēng)為“靜摩擦”,防止粘著的發(fā)生被稱(chēng)為“抗靜摩擦”。應(yīng)用于裝配和封裝中的抗靜摩擦的處理,目前已取得了一些發(fā)展。例如,美國(guó)專(zhuān)利5,694,740(下面寫(xiě)為`740)描述了在裝配過(guò)程...
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