技術(shù)編號：5271597
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及微機電系統(tǒng)。具體地說，本發(fā)明涉及這種系統(tǒng)中的電連接。微機電系統(tǒng)(MEMS)是一種小型設(shè)備，它提供一定的電性能和機械性能，一般是成批制造的。MEMS在很多電子設(shè)備中都有廣泛的應(yīng)用。舉例的MEMS包括加速度、壓力、流量、位移、距離、傳感器和閥、泵以及光學(xué)元件促動器。MEMS傳感器的一個特定用途是用于壓力傳感。最好將傳感元件放在傳感器主體的各層之間，各種互聯(lián)最好也位于這些層之間，并被密封，從而不使腐蝕流體與傳感元件及互聯(lián)相接觸。在采用MEMS(微機電系...
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