技術(shù)編號：5271477
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型屬于傳感器，具體來說，涉及一種易于封裝的磁場傳感器。背景技術(shù)磁場傳感器有著悠久的歷史，指南針的實用新型，到現(xiàn)在有著更加廣闊的應(yīng)用領(lǐng)域，智能通訊、交通導(dǎo)航、數(shù)據(jù)存儲等都需要使用磁場傳感器。隨著微機電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)的發(fā)展，大大推動了 MEMS磁場傳感器的發(fā)展，出現(xiàn)了一些微型磁場傳感器的結(jié)構(gòu)，硅技術(shù)的大批量制造使得昂貴的設(shè)計制造成本得到了極大的降低，同時新發(fā)展的MEMS工藝能夠在硅襯底上利用IC后處理工藝制作各種機械結(jié)構(gòu)，為磁·場傳感器的設(shè)計開辟...
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