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一種單晶硅納米線(xiàn)網(wǎng)狀陣列結(jié)構(gòu)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):5271312

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本發(fā)明涉及一種硅納米線(xiàn)的制作方法,特別是涉及。背景技術(shù)隨著納米科學(xué)技術(shù)的發(fā)展,材料的納米結(jié)構(gòu)因?yàn)槌31憩F(xiàn)出與其宏觀(guān)狀態(tài)下不同的特性而越來(lái)越受到研究者重視,人們希望通過(guò)對(duì)納米結(jié)構(gòu)展開(kāi)諸如電學(xué)、熱學(xué)、光學(xué)以及力學(xué)等性能的研究,從而能更好的理解納米尺度下的各種效應(yīng),實(shí)現(xiàn)更深層次的理解材料微觀(guān)結(jié)構(gòu)與其性質(zhì)之間的關(guān)系,并且因此設(shè)計(jì)制造出具有更優(yōu)異性能的應(yīng)用器件。作為CMOS工藝及MEMS技術(shù)的標(biāo)準(zhǔn)材料,對(duì)單晶硅納米結(jié)構(gòu)及納米器件的研究尤其受到人們的 青睞。研究表明,...
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