技術(shù)編號：5271173
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及MEMS仿生矢量水聽器，具體是一種MEMS仿生矢量水聽器的桔瓣式封裝結(jié)構(gòu)。背景技術(shù)MEMS矢量水聽器是當前國內(nèi)外聲換能器領(lǐng)域研究的熱點之一。專利申請?zhí)枮?200610012991.0的中國發(fā)明專利申請公開了一種“共振隧穿仿生矢量水聲傳感器”，因其具有體積小、矢量性和可剛性安裝等優(yōu)勢，在國內(nèi)外得到一定的認可，但將其實現(xiàn)工程化應(yīng)用還必須進一步提高其封裝結(jié)構(gòu)的性能和可靠性。目前，雖然用于MEMS矢量水聽器的封裝結(jié)構(gòu)種類繁多，但是這些封裝結(jié)構(gòu)還是具有一定...
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