技術(shù)編號:5271067
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明是一種,包括1)在硅圓片上形成微凹槽、吸收泡腔槽和放置腔槽;2)將堿金屬化合物密封入圓片中央的放置腔內(nèi),并形成包含流動臨時微通道、吸收泡腔和堿金屬放置腔的圓片內(nèi)真空環(huán)境;3)實現(xiàn)堿金屬化合物的分解,生成所需量的銣或銫金屬,并使之汽化揮發(fā);4)將氣態(tài)堿金屬固化凝結(jié)在吸收泡腔體中;5)使玻璃片在靜電力的作用下,發(fā)生彎曲,消除預(yù)制的流動臨時微通道,實現(xiàn)所有吸收泡的同時密封。優(yōu)點解決了因堿金屬極易氧化導(dǎo)致的填充難度大和工藝復(fù)雜等難題,消除了可能殘留在吸收泡中...
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