技術(shù)編號：5271055
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及。一種器件包括第一襯底，功能性元件和電極在其中形成；第二襯底，貫通電極在其中形成；接合材料，其接合所述第一襯底和所述第二襯底，并在所述功能性元件和所述第二襯底之間保留預(yù)定空間；和導(dǎo)電材料，其將所述電極電連接到所述貫通電極。在此，所述接合材料比所述導(dǎo)電材料更硬，并且在電學(xué)上，所述接合材料比所述導(dǎo)電材料導(dǎo)電性更弱。專利說明[0001]本發(fā)明涉及器件、。背景技術(shù)[0002]通過使用半導(dǎo)體技術(shù)制造微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)器件。MEMS器件包括電路元件和精密...
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