技術(shù)編號：5271051
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明的物聯(lián)網(wǎng)射頻收發(fā)組件中固支梁振動/電磁自供電微傳感器，集成了壓電換能器和整流天線系統(tǒng)兩種能量收集自供電模塊，分別對機(jī)械振動能和雜散電磁能起到收集、轉(zhuǎn)換和儲能的作用。該發(fā)明以砷化鎵為襯底，由MEMS固支梁、濾波電路、整流電路和儲能電容組成。MEMS固支梁從上往下共有五層上電極，壓電薄膜，下電極，氮化硅電介質(zhì)層和矩形微帶貼片天線。該發(fā)明中兩種模塊的集成能夠相互補充，微帶天線結(jié)構(gòu)用作質(zhì)量塊增強梁振動的慣性力和形變，隨著梁的振動能夠擴(kuò)展微帶貼片天線收集能量的...
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