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用于測(cè)量力的裝置和制作其的方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):5270294

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公開了用于測(cè)量力的裝置和制造其的方法。該裝置包括隔膜腔內(nèi)的凸起結(jié)構(gòu),其中該凸起結(jié)構(gòu)具有大致上平行的側(cè)壁。一個(gè)或多個(gè)傳感器靠近隔膜安裝來(lái)感測(cè)隔膜中的撓曲,其受該凸起結(jié)構(gòu)控制。專利說(shuō)明[0001]本文公開的主題涉及基于半導(dǎo)體微機(jī)電的傳感器(MEMS),其用于檢測(cè)從機(jī)械應(yīng)力、化學(xué)機(jī)械應(yīng)力、熱應(yīng)力、電磁場(chǎng)等產(chǎn)生的小的力或撓曲。更具體地,本文公開的主題涉及用于感測(cè)壓力的裝置和制造其的方法。背景技術(shù)[0002]基于半導(dǎo)體微電子的傳感器的發(fā)展已經(jīng)極大地降低這樣的傳感器的...
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