技術(shù)編號(hào):5270294
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。公開了用于測(cè)量力的裝置和制造其的方法。該裝置包括隔膜腔內(nèi)的凸起結(jié)構(gòu),其中該凸起結(jié)構(gòu)具有大致上平行的側(cè)壁。一個(gè)或多個(gè)傳感器靠近隔膜安裝來(lái)感測(cè)隔膜中的撓曲,其受該凸起結(jié)構(gòu)控制。專利說(shuō)明[0001]本文公開的主題涉及基于半導(dǎo)體微機(jī)電的傳感器(MEMS),其用于檢測(cè)從機(jī)械應(yīng)力、化學(xué)機(jī)械應(yīng)力、熱應(yīng)力、電磁場(chǎng)等產(chǎn)生的小的力或撓曲。更具體地,本文公開的主題涉及用于感測(cè)壓力的裝置和制造其的方法。背景技術(shù)[0002]基于半導(dǎo)體微電子的傳感器的發(fā)展已經(jīng)極大地降低這樣的傳感器的...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。