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具指插式彈簧的微機(jī)電裝置制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):5270289

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本發(fā)明公開了一種具指插式彈簧的微機(jī)電裝置,包括基板、至少一質(zhì)量塊、移動(dòng)電極、固定電極、固定座以及指插式彈簧。移動(dòng)電極沿軸向配置在質(zhì)量塊上。固定電極沿軸向配置在基板上,且移動(dòng)電極與固定電極之間具有一臨界間隙。指插式彈簧沿軸向連接質(zhì)量塊與固定座。指插式彈簧包含多個(gè)第一折疊部、多個(gè)第一連接部、多個(gè)第二折疊部以及多個(gè)第二連接部。第一折疊部包含二個(gè)第一延展部及第一頭部。第二折疊部包含二個(gè)第二延展部及第二頭部。第一延展部的寬度大于此臨界間隙,且第二延展部的寬度大于此臨...
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