技術(shù)編號：5270279
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明提供了一種。該傳感器包括襯底和蓋層，襯底和蓋層上分別設(shè)有金屬平面反射鏡和金屬微結(jié)構(gòu)層，金屬平面反射鏡與金屬微結(jié)構(gòu)層之間形成有微流通道，且當(dāng)微流通道內(nèi)存有被測液體時(shí)，金屬微結(jié)構(gòu)層、被測液體和金屬平面反射鏡形成的復(fù)合結(jié)構(gòu)在太赫茲波段內(nèi)具有共振引起的強(qiáng)吸收特性；該方法包括分別在襯底和蓋層上加工形成金屬平面反射鏡和金屬微結(jié)構(gòu)層，其后將襯底與蓋層固定連接，并使襯底與蓋層之間形成封閉微流通道，而后在襯底和/或蓋層上設(shè)置與微流通道連通的通孔，形成用以向傳感器內(nèi)輸入...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲(chǔ)備，不適合論文引用。