技術(shù)編號：5270273
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。一種MEMS檢測裝置，包括測量體以及與所述測量體相連接的蓋板，所述測量體包括框架及設(shè)置在所述框架內(nèi)自由活動的質(zhì)量塊，所述蓋板與所述質(zhì)量塊之間設(shè)置有過載保護(hù)裝置，所述過載保護(hù)裝置包括彈性部及凸點；所述凸點設(shè)置在所述彈性部上，所述彈性部設(shè)置在所述質(zhì)量塊或所述蓋板上，所述凸點限制所述質(zhì)量塊的運動幅度。從而在外部沖擊力幅度超出檢測裝置的限定幅度時，保護(hù)質(zhì)量塊，進(jìn)而保護(hù)檢測裝置。專利說明—種MEMS檢測裝置及其制造工藝 [0001]本發(fā)明涉及傳感器領(lǐng)域，尤其涉...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。