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直接感測(cè)BioFET和制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):5270200

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。本發(fā)明提供生物場(chǎng)效應(yīng)晶體管(BioFET)和制造BioFET器件的方法。該方法包括采用與互補(bǔ)金屬氧化物半導(dǎo)體(CMOS)工藝兼容或者是CMOS工藝中典型的一個(gè)或多個(gè)工藝步驟形成BioFET。BioFET器件包括具有感測(cè)柵極底部和許多堆疊的阱部分的多個(gè)微阱。阱部分的底表面積不同于直接位于其下方的阱部分的頂表面積。通過(guò)穿過(guò)不同材料包括犧牲插塞的多個(gè)蝕刻操作形成微阱,從而暴露出感測(cè)柵極而不產(chǎn)生等離子體所致?lián)p傷。專利說(shuō)明[0001]本發(fā)明涉及生物傳感器和形成生物...
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