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振動(dòng)反射鏡元件及振動(dòng)反射鏡元件的制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):5270008

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本發(fā)明涉及,特別涉及具有驅(qū)動(dòng)部的振動(dòng)反射鏡元件以及具有驅(qū)動(dòng)部的振動(dòng)反射鏡元件的制造方法。背景技術(shù)以往,已知有具有驅(qū)動(dòng)部的振動(dòng)反射鏡元件以及具有驅(qū)動(dòng)部的振動(dòng)反射鏡元件的制造方法。例如,在日本特開2009 - 223165號(hào)公報(bào)及日本特開2008 — 257226號(hào)公報(bào)中,公開了這樣的。在日本特開2009 — 223165號(hào)公報(bào)中公開了一種光偏轉(zhuǎn)器(light deflector),在 該光偏轉(zhuǎn)器的通用的基板上形成有一對(duì)驅(qū)動(dòng)部,它們配置在X方向上;反射鏡部,其...
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