技術(shù)編號(hào):5270008
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及,特別涉及具有驅(qū)動(dòng)部的振動(dòng)反射鏡元件以及具有驅(qū)動(dòng)部的振動(dòng)反射鏡元件的制造方法。背景技術(shù)以往,已知有具有驅(qū)動(dòng)部的振動(dòng)反射鏡元件以及具有驅(qū)動(dòng)部的振動(dòng)反射鏡元件的制造方法。例如,在日本特開2009 - 223165號(hào)公報(bào)及日本特開2008 — 257226號(hào)公報(bào)中,公開了這樣的。在日本特開2009 — 223165號(hào)公報(bào)中公開了一種光偏轉(zhuǎn)器(light deflector),在 該光偏轉(zhuǎn)器的通用的基板上形成有一對(duì)驅(qū)動(dòng)部,它們配置在X方向上;反射鏡部,其...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。