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振動(dòng)元件、光掃描裝置、致動(dòng)裝置、視頻投影裝置及圖像形成裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):5270002

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本發(fā)明例如涉及振動(dòng)元件、光掃描裝置、致動(dòng)裝置、視頻投影裝置及圖像形成裝置。背景技術(shù)以往,作為具有振動(dòng)元件的裝置,例如,已知有光掃描器等光掃描裝置(例如,參照專利文件I)。在該專利文件I所述的光掃描裝置中,在基板上設(shè)置由不銹鋼構(gòu)成的扭梁部,利用壓電體等在基板上引發(fā)板波,并使由扭梁部支承的光學(xué)鏡部擺動(dòng)?,F(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)I 日本特開2006-293116號(hào)公報(bào)。發(fā)明內(nèi)容發(fā)明所要解決的課題在上述的專利文獻(xiàn)I所述的光掃描裝置中,由于扭梁部由不銹鋼形成,因...
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