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一種微機電系統(tǒng)扭轉(zhuǎn)鏡面驅(qū)動器、制作方法及應(yīng)用的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:5269934

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本發(fā)明涉及一種微機電系統(tǒng)扭轉(zhuǎn)鏡面驅(qū)動器、制作方法及應(yīng)用,屬于光纖通信領(lǐng)域。背景技術(shù)隨著光纖通信的發(fā)展,光纖傳輸系統(tǒng),光纖網(wǎng)絡(luò)的推廣和普及,必然需要大量的光通訊器件,其中可調(diào)式光衰減器(Variable Optical attenuator)是現(xiàn)代寬帶光網(wǎng)中的一種核心器件,可用于密集波分復(fù)用光纖光網(wǎng)絡(luò)(DWDMFiber Optical Networks)中各信道信號的強弱調(diào)整,還可用于模擬光纖長距離傳輸或檢測傳輸系統(tǒng)的動態(tài)范圍。MEMS微機電系統(tǒng)(Micr...
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