技術(shù)編號：5269907
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明的實(shí)施方式一般而言涉及一種用于在生產(chǎn)線(BEOL)系統(tǒng)的鋁或銅后段工序或者具有金屬互連系統(tǒng)的任何半導(dǎo)體工序之內(nèi)形成基于微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)的懸臂式開關(guān)的方法。背景技術(shù)對于MEMS懸臂式開關(guān)來說，需要嚴(yán)格控制通過梁的梯度應(yīng)力以防止在釋放時(shí)嚴(yán)重彎曲。梁彎曲是當(dāng)梁在與電極接觸之前不會(huì)回到所述梁的正常位置的時(shí)候。梁保持靠近電極，因此使梁移動(dòng)到與電極相接觸所必需的功率會(huì)發(fā)生改變。當(dāng)梁彎曲加劇時(shí)，開關(guān)可能無法根據(jù)所述開關(guān)的設(shè)計(jì)參數(shù)而操作。例如，當(dāng)梁彎曲加劇時(shí)，...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。