技術編號：5269855
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及半導體制造領域，特別涉及一種。 背景技術MEMS(Microelectromechanical System，微機電系統(tǒng))技術是指對微米/納米 (micro/nanotechnology)材料進行設計、加工、制造、測量和控制的技術。MEMS是由機械構(gòu)件、光學系統(tǒng)、驅(qū)動部件、電控系統(tǒng)集成為一個整體單元的微型系統(tǒng)。MEMS通常應用在位置傳感器、旋轉(zhuǎn)裝置或者傳感器中，例如加速度傳感器、陀螺儀和聲音傳感器?，F(xiàn)有的一種傳統(tǒng)的微機電傳感器通常包括主體和一個或...
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