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一種制作高深寬比周期性納米結(jié)構(gòu)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):5269852

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本發(fā)明涉及一種高深寬 比周期性納米結(jié)構(gòu)的制作方法,尤其涉及一種利用干涉光 刻和三層膠技術(shù)制作高深寬比周期性納米結(jié)構(gòu)的方法。背景技術(shù)亞波長(zhǎng)周期性納米結(jié)構(gòu)由于其特殊的光學(xué)性質(zhì)和物理效應(yīng)受到人們的廣泛關(guān)注。 例如,基于半導(dǎo)體能帶理論的光子晶體可以通過(guò)引入缺陷來(lái)對(duì)光波進(jìn)行操控,使“集成光 路”的實(shí)現(xiàn)成為一種可能;基于表面等離子激元(surface ρlasmon polaritions, SPPs)效 應(yīng)的人工材料可以通過(guò)調(diào)制光場(chǎng)的幅度和相位分布實(shí)現(xiàn)光的負(fù)折射,在...
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